微米和納米加工制造儀可應(yīng)用的領(lǐng)域包括表面化學(xué)、材料科學(xué)、工業(yè)應(yīng)用、半導(dǎo)體器件的電子元件制造和生物固定和生物傳感應(yīng)用等領(lǐng)域。
 

　　微納加工技術(shù)指尺度為亞毫米、微米和納米量級元件以及由這些元件構(gòu)成的部件或系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計、加工、組裝、系統(tǒng)集成與應(yīng)用技術(shù)，涉及領(lǐng)域廣、多學(xué)科交叉融合，其主要的發(fā)展方向是微納器件與系統(tǒng)（MEMS和NEMS）。微納器件與系統(tǒng)是在集成電路制作上發(fā)展的系列專用技術(shù)，研制微型傳感器、微型執(zhí)行器等器件和系統(tǒng)，具有微型化、批量化、成本低的鮮明特點，對現(xiàn)代生活、生產(chǎn)產(chǎn)生了巨大的促進作用，并催生了一批新興產(chǎn)業(yè)。
 

　　微納加工技術(shù)是先進制造的重要組成部分，是衡量國家高等制造業(yè)水平的標(biāo)志之一，具有多學(xué)科交叉性和制造要素極度性的特點，在推動科技進步、促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展、拉動科技進步、保障國防安全等方面都發(fā)揮著關(guān)鍵作用。微納加工技術(shù)的基本手段包括微納加工方法與材料科學(xué)方法兩種。顯然，微納加工技術(shù)與微電子工藝技術(shù)有密切關(guān)系。